氮氣碳載純化裝置。從氮氣緩沖罐出來的普氮，在預熱器中和脫氧器中出來的高溫氮氣進行熱交換升溫后，經(jīng)加熱器加熱到一定溫度以后，進入填充了碳催化劑的脫氧器，碳和氮氣中的余氧反應生成二氧化碳，再進入靜態(tài)混合器式冷卻器降到常溫，再通過變壓吸附原理，用填充了分子篩的微熱再生干燥器除去二氧化碳和水分，最后經(jīng)過超精度過濾器過濾以后，得到高純度氮氣。此外在純化裝置中設(shè)置的預熱器（熱交換器），可回收脫氧器中脫氧后氮氣的熱量，可大大節(jié)約能耗30%以上。同時冷卻器采用了靜態(tài)混合器式結(jié)構(gòu)，避免了常規(guī)冷卻器列管變形而導致的故障問題，大大提高了裝置的連續(xù)性操作和性能。最后得到的氮氣純度≥99.999%，產(chǎn)量為20m3/h，氮氣輸出壓力為0.5MPa(可調(diào)),氮氣常壓露點≤-60℃。